Pwrpas arolygu prosesau yw atal nifer fawr o gynhyrchion diffygiol rhag llifo i'r broses nesaf. Felly, mae arolygu prosesau nid yn unig yn archwilio'r cynnyrch ei hun ond hefyd yn gwirio'r elfennau proses allweddol (fel y 4M1E) sy'n effeithio ar ansawdd y cynnyrch.
Mewn gwirionedd, wrth gynhyrchu cynhyrchion aeddfed fel arfer, gellir priodoli unrhyw broblem ansawdd i amrywiad mewn un neu fwy o'r elfennau 4M1E. Felly, mae dau ddiben i arolygu prosesau:
Penderfynu a yw ansawdd y cynnyrch yn bodloni manylebau a safonau yn seiliedig ar ganlyniadau'r arolygiad;
Er mwyn penderfynu a yw elfennau'r broses mewn cyflwr arferol a sefydlog yn seiliedig ar ganlyniadau'r arolygiad, a thrwy hynny benderfynu a ddylai'r broses barhau i gynhyrchu. I gyflawni hyn, mae arolygu prosesau yn aml yn cael ei gyfuno â defnyddio siartiau rheoli.
